[주목할 우수 산업기술]60GPa 이상 초고경도 내마모 카본나노박막 코팅 기술

60 GPa 이상 초고경도 내마모 카본나노박막 DLC, ta-C 코팅 기술은 Filtered Cathode Vacuum Arc(FCVA) 소스를 이용한 코팅공정이다. 고상의 흑연 타깃으로부터 수소함유를 원칙적으로 피할 수 있다. 여타 공정 대비 월등히 우수한 물리화학적 특성을 지닌 DLC 코팅 기술이다.

[주목할 우수 산업기술]60GPa 이상 초고경도 내마모 카본나노박막 코팅 기술

핵융합에서 사용되는 제4의 물질인 플라즈마를 사용해 자장여과방식으로 가두고 기판으로 수송해 다이아몬드에 버금가는 고강도 탄소막을 형성한다. 고속, 고효율, 스마트 세이빙이 가능한 기술이다. 해외 유사기술에 비해 탄소 증착 효율성을 두 배 이상 향상하는 효과를 발생시킨다.

자장여과 아크공정 이용 ta-C 후막화(>10 um) 기술로써 국내 최초 300mm 이상, 균일도 10% 준양산 시스템으로 다양한 공정에서 신속하게 상용 적용 가능하다. 플라즈마 중의 하전입자와 중성 입자와의 충돌빈도가 다른 충돌에 비해 작고 중성입자가 관여하는 현상이 거의 없는 우수 물리화학적 특성을 지닌 DLC 코팅 가능하다.

비표준 인터페이스로 노드의 IPE(Interworking Proxy Entity)와 인터워킹하는 비표준 방식 디바이스가 표준 인터페이스로 노드의 CSE(Common Service Entity)와 인터워킹하는 근거리통신(NFC)으로 통합결제 시스템 구현이 가능하다. 스마트 홈, 스마트 팩토리, 스마트 팜 등 각종 근거리 통신방법을 사용한 무선통신 적용분야에 적용이 가능하다.

신혜권 SW/IT서비스 전문기자 hkshin@etnews.com

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